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针对超精密直动导向的讲座

作者:Rinck来源:气动杂志更新时间:2025-02-08 15:47:28 阅读:

在此,介绍一下与滑动导轨相比,精度要高很多的直动导向的尖端技术概要。

移动电话的液晶显示屏和PC用显示器等显示高精细图像的商品其关键部件,要求具有亚微米级(例如0.3μm以下)的公差精度。这种关键部件很多是由超精密金属模具制作后再进行量产的。对于这种超精密金属模具的加工,是使用可实现亚微米级精度的超精密加工设备。

 

超精密加工设备具有代表性的直动导向

 

超精密加工设备的直动导向结构可分成以下2种。

a)接触式滑动导向・・・・轨道与可动体接触,并活动。

b)非接触式滑动导向・・・轨道与可动体在非接触状态下活动。

 

(a)关于接触式滑动导向

·【照片1】所示的是用于超精密加工设备,具有代表性的接触式滑动导向的结构。由熟练工通过手工精加工方式进行刮铲操作(【照片2】),由此进行精加工,最终形成V槽形状的滑动导向。在该导向上,配置有超精密级的滚柱轴承。

 

针对超精密直动导向的讲座

 

·在采用刮铲方式进行精加工所形成的V槽导向上,设置滚柱轴承和上部可动体,并用测量器具进行精度测定,以不断缩小误差。此一操作反复进行。

·该直动导向的结构为,使用滚珠丝杠来进行驱动。但为了要避免滚珠丝杠的挠曲所产生的,朝向上下左右方向的误差,滚珠丝杠螺母部使用平行弹簧来固定住,仅传递直动方向的推力。

 

(b)关于非接触式滑动导向

  ·【照片3】是将用于精密平台的花岗岩石材用于结构材料的,空气轴承的外观图片。

 

针对超精密直动导向的讲座

·花岗岩石材是天然材料,因此,可忽视经年变化。对热变形不敏感,并可吸收振动。由于存在这一类特性,因此被选定。

·空气轴承的作用是在6μm左右的间隙释放出空气,并利用该气压,在非接触状态下,构成超精密直动导向。

·直动导向轨道为凸状的块,它的最终精度也是采用手工抛光加工方式进行的抛光加工。

·可动部的空气垫设计对于空气刚性和避免产生共振来说是重要的(【照片4】)

 

针对超精密直动导向的讲座

·【照片3】中的银色长方体为直线电机。

·通过采用空气轴承和直线电机来构成完全非接触滑动导向。

 

在这种超精密驱动控制的世界里,要求具有周边温度的稳定控制(例如±0.1℃)、外部振动的完全隔断所需的独立基础结构和无尘等的环境控制。

上一个:轴以外的直动导向
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